Construcción de un pequeño aparato para depositar materiales en el vacío por bombardeo con iones (SPUTERING)

La cámara de vacío.

Yo he empleado como cámara de vacío un frasco de cristal, con tapa de cristal y cierre hermético con goma, de los empleados para conservar fruta. El volumen del mío es de 1/2 litro. Puedes hacerlos mas grandes pero creo que no antes de haber experimentado con uno de este tamaño. En tu casa posiblemente tengas uno. Pero si no tienes tres o cuatro iguales mejor compras tres o cuatro iguales. De esta manera podrás intercambiar tapas y frascos en caso de que se te rompa alguno. Yo los he comprado por unos 2 euros unidad.

En el frasco hay que hacer un orificio para conectar en vacío y las otras tomas auxiliares: medición de presión, suministro de gases y aireado para poder abrir el frasco. Si esa toma es metálica también se puede aprovechar para el terminal de masa. La tapa por contra hay que perforarla para conectar el electrodo fuente.

Todas las perforaciones se pueden realizar empleando un dremel o similar con fresas de diamante. Pueden comprarse fresas de diamante buenas y caras pero también se pueden comprar por menos de 15 euros lotes con mas de 40 fresas de diamante.

 

 

 Aquí puedes ver el frasco ya perforado, y su tapa con otro orificio.

 

El orificio del frasco debe ser lo suficientemente grande para permitir que el vacío se realice en un tiempo razonable. También el orificio de la tapa correspondiente l electrodo fuente. Si se va a trabajar de manera intensiva o con grandes potencias es conveniente refrigerar ese electrodo con agua lo cual supone serias modificaciones de diseño. En mi caso permito la refrigeración de la fuente por conducción térmica del vástago de soporte.

 

 

El soporte del vástago de la fuente y la conexión al vacío se fijan al frasco y a la tapa mediante epoxi de dos componentes. Yo empleo epoxi especial para vacío pero es bastante difícil de obtener así que te recomiendo que emplees un buen epoxi duro que no sea de secado muy rápido. Los Araldit o Nural rápidos no son muy buenos para esto.

  

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